清华大学在新型加速器光源研究中取得进展 有望助力光刻机研发

据新华社北京2月25日电 清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与德国的研究团队25日在《自然》杂志上发表论文，报告了一种名为“稳态微聚束”（SSMB）的新型粒子加速器光源的原理验证实验。据悉，这项重要研究有望为光子科学研究提供新的机遇，并助力EUV（极紫外）光刻机的自主研发。

“SSMB光源的潜在应用之一是作为未来EUV光刻机的光源。”唐传祥教授表示。光刻是集成电路芯片制造中复杂和关键的工艺步骤，光刻机是芯片产业链中必不可少的精密设备。目前业界公认的新一代主流光刻技术是采用波长为13.5纳米光源的EUV光刻。而大功率的EUV光源是EUV光刻机的核心基础。

对于此项研究，《自然》的相关评论文章中指出，“该实验展示了如何结合现有两类主要加速器光源——同步辐射光源及自由电子激光的特性，SSMB光源未来有望应用于EUV光刻和角分辨光电子能谱学等领域。”

新闻推荐

欧洲国家官员带头接种阿斯利康疫苗 英国首相约翰逊接种后表示“没有任何感觉” 德意两国总理有接种意向

英国首相鲍里斯·约翰逊19日接种由英国阿斯利康制药公司与牛津大学联合研发的新冠疫苗。据新华社电英国首相鲍里斯·...